BRUKER納米壓痕儀究竟有哪些用途?
更新時(shí)間:2021-12-13瀏覽:2086次
BRUKER納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結果通過(guò)力與壓入深度的曲線(xiàn)計算得出,無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀(guān)察壓痕面積。納米壓痕儀采用模塊化設計,可廣泛集成原子力顯微鏡,光學(xué)顯微鏡,激光干涉儀器等材料表面測量?jì)x器,為用戶(hù)提供綜合性材料微觀(guān)力學(xué)測試方案。
BRUKER納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統、移動(dòng)線(xiàn)圈系統、加載系統及壓頭等幾個(gè)部分。壓頭一般使用金剛石壓頭,分為三角錐或四棱錐等類(lèi)型。試驗時(shí),首先輸入初始參數,之后的檢測過(guò)程則*由微機自動(dòng)控制,通過(guò)改變移動(dòng)線(xiàn)圈系統中的電流,可以操縱加載系統和壓頭的動(dòng)作,壓頭壓入載荷的測量和控制通過(guò)應變儀來(lái)完成,同時(shí)應變儀還將信號反饋到移動(dòng)線(xiàn)圈系統以實(shí)現閉環(huán)控制,從而按照輸入參數的設置完成試驗。
BRUKER納米壓痕儀可適用于有機或無(wú)機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性薄膜等等?;w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等??捎糜诎雽w技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、BondPads);存儲材料(磁盤(pán)的保護層、磁盤(pán)基底上的磁性涂層、CD的保護層);光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN,TiC,DLC,切割工具);藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織);工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。